FT-NMT04原位納米力學測試系統是一種多功能原位SEM/FIB納米壓痕儀，能夠精確量化微米和納米級材料的力學行為。
作為世界上第一個基于MEMS的納米壓痕儀，FT-NMT04納米壓痕儀基于獲得專利的FemtoTools微電子機械系統（MEMS）技術。利用二十多年的技術創新，這種原位納米壓痕具有無與倫比的分辨率，可重復性和動態響應。FT-NMT04原位納米壓痕儀針對金屬，陶瓷，薄膜以及超材料和MEMS等微結構的機械測試進行了優化。此外，通過使用各種附件，FT-NMT04的功能可以擴展到各個研究領域的多樣化要求。
典型應用包括通過微柱的壓縮測試或狗骨樣本，薄膜或納米線的拉伸測試來量化塑性變形機制。此外，彎曲期間的連續剛度測量使得能夠在微梁的斷裂測試期間量化裂縫生長和斷裂韌性。由于無與倫比的低噪聲基底分別為500pN和50pm，FT-NMT04可實現淺納米壓痕，具有前所未有的可重復性。
*納米壓痕，壓縮測試，拉伸測試，斷裂測試，疲勞測試。
*使用SEM，EBSD或STEM進行定量機械測試和同步成像。
*獲得專利的基于MEMS的傳感技術可實現0.5nN至200mN的最高分辨率和重復力，以及0.05nm至21mm的位移。
*能夠進行連續剛度測量（CSM）或高達500Hz的疲勞測量，無需復雜的動態校準。
*真正的位移控制測試，可實現快速應力下降的量化（也可以選擇基于力反饋的力控制測量）。
*3軸,4軸或5軸（x,y,z,旋轉,傾斜）,閉環傳感器,使用所有軸上的位置編碼器進行樣品對齊高溫測試可達400℃。
*能夠將樣品有序地定向到納米壓頭尖端，電子束和EBSD檢測器，以評估特定顆粒和位置的硬度（僅適用于5軸配置）。
*簡單確定壓頭區域功能和框架順應性。
*強大的數據分析工具，用于評估測量結果并應用擬合或函數來計算材料屬性。
*SEM樣品臺安裝可以快速安裝和移除SEM室內的系統。
*緊湊的模塊化設計使其幾乎可以集成到任何SEM中。
*可定制的測量程序和原則。
微柱壓縮
• 確定滑移系統的臨界分辨剪切應力（CRSS）
• 表征單軸應力下的變形機制
• 韌性損傷和應變局部化的量化
微懸臂斷裂試驗
• 用連續J積分法測定亞微米斷裂韌性
• 表征單調和循環斷裂行為
• 量化各個裂紋的萌生和傳播
納米壓痕
• 以低容量確定硬度和楊氏模量
• 量化接觸力學和動態響應
• 多軸應力下變形機制的表征
微拉伸試驗
• 確定屈服應力，極限拉伸應力和斷裂伸長率
• 在單調和循環加載下表征斷裂模式
• 定量應變局部化效應和裂紋萌生和傳播事件
用STEM / EBSD進行相關的機械測試
• 應變定位的定量研究
• 相變的定量研究
• 紋理演變的定量研究
• 位錯動力學的定量研究
FT-NMT04納米壓痕儀可以設置為三種不同的主要配置。每種配置都是專為一組應用程序設計的，并提供一組獨特的功能。此外，通過添加或移除FT-SEM-ROT旋轉臺或FT-SEM-ROT / TILT旋轉和傾斜臺，每個配置只需幾個簡單步驟即可實現。
FT-NMT04-XYZ
主要特征
• 力感應范圍：+/-200mN
• 強制本底噪聲（10Hz）：500pN
• 位移范圍：25μm
• 位移噪聲層（10Hz）：50pm
• 連續剛度測量和高達500Hz的疲勞測試
• 3軸傳感器與樣品對齊
• 尺寸：120 x 44 x 72 mm
主要應用
• 微柱壓縮
• 微懸臂斷裂試
• 疲勞測試
• 納米壓痕
• 微拉伸測試
FT-NMT04-XYZ-R
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與FT-NMT04-XYZ相比的附加功能
• 樣品旋轉范圍：360 • 樣本旋轉噪聲基底（10Hz）：35μ • 帶有3個樣品的樣品旋轉器 • 4軸傳感器與樣品對齊 • 尺寸：134 x 72 x 44 mm |
與FT-NMT04-XYZ相比的其他應用
• EBSD或TKD相關的納米機械測試 • STEM相關納米力學測試 • 使用Fem-toTools FT-TT02納米拉伸測試芯片進行納米拉伸測試 • 更快地測試多個樣品（樣品旋轉器） |
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FT-NMT04-XYZ原位納米力學測試系統 軸數（粗調） 3 驅動原理（粗調） 壓電棒滑動 XYZ驅動范圍（粗調） 21mmx12mmx12mm 最小步進 (粗調) 1 nm 驅動原理（精調） 壓電掃描 驅動范圍 (精調) 25 µm 最小步進（精調） 0.05 nm 位移記錄器分辨率 (10 Hz) 0.05 nm 位移測量范圍 0.05 nm - 21 mm 最大測力范圍*1) ±200mN 最小測力分辨率 (10 Hz)*2) 0.5 nN *1) 使用FT-S200'000微力傳感器探針
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FT-NMT04-XYZ-R原位納米力學測試系統 與FT-NMT04-XYZ相比的附加規格 軸線 (粗調) 4 樣品旋轉范圍 360° 樣品旋轉分辨率(10 Hz) 35 µ° |
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與 FT-NMT04-XYZ相比的附加規格 軸數 (粗調) 5 樣品旋轉范圍 180° 樣品旋轉分辨率(10Hz) 35 µ° 樣品傾斜范圍 90° 樣品傾斜分辨率(10Hz) 35µ° |
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